เป็นการทดสอบประสิทธิภาพคลีนรูม ให้ได้ค่าต่างๆ ตามที่ตั้ง Specification ไว้ตั้งแต่ตอนออกแบบ โดยการทดสอบห้องคลีนรูมมีขั้นตอนและวิธีการที่ซับซ้อน ต้องทำการทดสอบโดยผู้เชี่ยวชาญที่ได้รับมาตรฐานสากล NEBB เท่านั้น เพื่อประสิทธิภาพของคลีนรูมในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น อุตสาหกรรมชิ้นส่วนอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรม Bio-medicine รวมไปถึงอุตสาหกรรมทางการแพทย์ ห้องผ่าตัด นอกจากนี้ยังมีอีก 7 สถานที่อื่นๆ ที่ต้องทดสอบคลีนรูมตามมาตรฐาน NEBB อีกมากมาย
โดยการทดสอบห้องคลีนรูมจะแบ่งเป็น 2 ประเภท ได้แก่ Cleanroom Performance Testing (CPT) ในอุตสาหกรรม Microelectronics & Semiconductors และ Cleanroom Performance Testing (CPT) ในอุตสาหกรรมทางการแพทย์
วันนี้ Cleanroom by VOV International จึงจะพาทุกคนไปส่องชีวิตทีม Testing ว่ามีวิธีการและอุปกรณ์อะไรบ้างในการทดสอบห้องคลีนรูมแต่ละแห่ง
เริ่มแรก เมื่อไปถึงสถานที่ที่ต้อง Test หลังจากคุยกับ Owner หรือผู้รับเหมาเรียบร้อยแล้วก็เริ่มตั้งค่าอุปกรณ์และแต่งชุด Smock หมวก หน้ากากอนามัย และถุงมือ เป็นการเตรียมตัวให้พร้อมก่อนเริ่มทดสอบ
การวัดค่าฝุ่นของห้องคลีนรูม ตาม Classification ที่กำหนดไว้จาก Spec ของ Owner หรือผู้รับเหมา โดยกระบวนการนี้ต้องทำความสะอาดและเช็ดฝุ่นวัสดุอุปกรณ์ภายในห้องให้เรียบร้อยก่อนการ Test และผู้ที่ทำการทดสอบต้องขยับตัวให้น้อยที่สุดเพื่อลดค่าฝุ่นที่อาจเกิดขึ้นจากเสื้อผ้า
ซึ่งเครื่องมือที่ใช้ในการทดสอบเรียกว่า ‘Particle Counter’ โดยเทียบจากค่าฝุ่นที่ดูดได้ เทียบกับอากาศที่ดูดเข้าไปในเครื่องเพื่อเช็กว่ามีปริมาณฝุ่นเท่าไหร่ต่อปริมาตรอากาศ 1 ลบ.ฟุต
เมื่อทำการวัดค่าฝุ่นเรียบร้อย ทีม Test ก็จะบันทึกค่า แล้วสรุปผลว่าการจำกัดปริมาณฝุ่นผ่านตามเกณฑ์ที่กำหนดหรือไม่ หากไม่ผ่าน ก็จะให้ทาง Owner หรือผู้รับเหมาดำเนินการแก้ไขต่อไป
เป็นการทดสอบปริมาณลมที่ไหลผ่านห้องคลีนรูม เพื่อวัดประสิทธิภาพในการจัดการปริมาณฝุ่นเข้า/ออกจากห้อง Cleanroom โดยการวัดปริมาณลมในคลีนรูมเป็นการวัดประสิทธิภาพของ HVAC System ในระบบหมุนเวียนอากาศ ซึ่งหากมีข้อบกพร่องจะต้องแก้ไขในส่วนของระบบ HVAC
อุปกรณ์หลักๆ ที่ใช้ในการทดสอบ ด้วย ‘Direct Reading Hood’ ซึ่งเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ครอบช่องบนเพดานห้องคลีนรูม เพื่อทดสอบระบบหมุนเวียนอากาศ หลังจากนั้นก็อ่านค่าจากจอมอนิเตอร์ที่ติดกับตัวเครื่อง และบันทึกผล
เป็นการวัดค่าแรงดันภายในห้องคลีนรูม และข้างนอกคลีนรูมในบริเวณใกล้เคียงเพื่อรักษาค่าความดันให้เป็นไปตามประเภทของคลีนรูมที่กำหนดไว้ในการใช้งานที่แตกต่างกันไปในแต่ละอุตสาหกรรม ได้แก่ ห้องคลีนรูมแรงดันบวก (Positive Pressure Cleanroom) เช่น คลีนรูมในอุตสาหกรรมอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ และห้องผ่าตัด เพื่อถ่ายเทปริมาณฝุ่นให้ออกจาก Cleanroom และ ห้องคลีนรูมแรงดันลบ (Negative Pressure Cleanroom) เช่น ห้องแยกโรค (Isolation Room) และห้องผู้ป่วยเกี่ยวกับโรคทางเดินหายใจ ไวรัสต่างๆ รวมถึงโควิด-19 ซึ่งเป็นการกักเก็บอากาศไว้ภายในห้อง เพื่อป้องกันการแพร่กระจายของโรค
จะใช้เครื่อง ‘Manometer’ เพื่อวัดค่าแรงดันภายในห้องคลีนรูมให้ได้ปริมาตรที่ห้องกำหนด โดยส่วนนี้จะเป็นส่วนที่มีปัญหาค่อนข้างมากในการรักษาค่าความดันของห้อง ซึ่งเกี่ยวข้องกับระบบการจ่ายอากาศเข้า/ออกภายในห้องคลีนรูม เช่น HVAC System และ HEPA Filter เป็นต้น
โดยส่วนใหญ่จะใช้เป็นแผ่นกรอง HEPA Filter โดยวิธีการทดสอบจะเป็นการปล่อยสาร PAO (Poly Alpha Olefin) ผ่านช่องลม และใช้ Aerosol Generator ในการทำให้เกิดควันแล้วปล่อยเข้าระบบระบายอากาศ (HVAC System) แล้วจึงใช้เครื่อง Scanning Probes วัดการรั่วไหลผ่านทางช่องลมบนเพดานห้อง Cleanroom
โดยการวัดการรั่วไหลจะเป็นการวัดทุกช่องลม และสแกนให้ทั่วแผ่นกรอง เส้นขอบ รวมไปถึงมุมของแผ่นกรองด้วย หรือถ้ามีความต้องการ ก็สามารถใส่แผ่นกรองอากาศอีกชั้นเพื่อคลุมแผ่นกรองที่กำลังทดสอบเพื่อบล็อกอากาศจากบริเวณอื่นไม่ให้เข้ามาได้ ซึ่งถ้ามีการรั่วไหล ทาง Owner หรือผู้รับเหมาจะต้องทำการแก้ไขระบบ HVAC System รวมไปถึงแผ่นกรอง HEPA Filter อีกด้วย
นอกจากการทดสอบหลักแล้ว การตรวจห้องคลีนรูมยังมีค่าที่ต้องให้ความสนใจเพิ่มเติมตามคุณภาพของคลีนรูมที่ต้องการได้ ได้แก่
วัดค่าอุณหภูมิภายในห้องคลีนรูมให้เป็นไปตามที่กำหนด และควบคุมความชื้นให้เหมาะสมเพื่อการจำกัดปริมาณฝุ่น และป้องกันไฟฟ้าสถิตที่อาจสร้างความเสียหายได้ โดยการใช้เครื่องวัดค่าอุณหภูมิและความชื้นในบริเวณที่กำหนดหรือต้องการตรวจสอบ แล้วอ่านค่าที่ได้จากเครื่องวัด
จะวัดระดับเสียงด้วยวิธีจากเครื่อง Sound level meter (SLM), Full and Third Octave Filters หรือ Acoustic Calibrators
เป็นการวัดระดับแสงด้วย Light Meter เพื่อวัดความเข้มของแสงในพื้นที่ที่กำหนดในการใช้งานคลีนรูม
*เป็นการทดสอบเพิ่มเติมตามที่ Owner หรือผู้รับเหมาต้องการ
หลังจากทดสอบ Cleanroom ทุกอย่างตามที่ Owner หรือผู้รับเหมากำหนดแล้ว หากมีข้อบกพร่อง ทาง NEBB Certified Firms หรือบริษัทที่ได้รับการรับรองจาก NEBB จะชี้แจงให้แก้ไข และทำการตรวจสอบซ้ำ (หากต้องการ) ในขณะที่เมื่อค่าทุกอย่างที่ตรวจสอบผ่านตามเกณฑ์ที่ NEBB กำหนด ทางบริษัทก็จะออกใบ Certification ให้ผู้ประกอบการนั้นๆ ว่าคลีนรูมผ่านการทดสอบ มีประสิทธิภาพ และมีการใช้งานที่ปลอดภัยตามมาตรฐาน